二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358610 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种用于低压化学气相沉积（LPCVD）工艺的生产就绪反应器。配备高精度、低电感灯丝电源、自动感应器高度调节、低噪声轴承组件、专利工艺室架构、高沉积均匀性。AKT Endura II利用具有优化工艺形状的专利腔室架构，最大限度地提高气流均匀性，提高热均匀性、工艺重复性和工艺稳定性。低电感电源的设计是为了减少电噪声，从而最大限度地减少过程的潜在污染，从而提高产量和提高质量。自动感应器高度调整允许精确、可重复的晶片定位，减少薄膜厚度的批量变化。低噪声轴承组件有助于维护一致的环境,提供可重复的过程和改进的过程质量。AMAT Endura II是一款适应性强的系统，具有石英电阻起飞点、HCl控制阀、最多三个旋转气体阀等特点。它具有宽广的温度和压力操作窗口,包括标准的双RF电源功能。功能强大的EasyCenturion软件提供了自动化的流程配方,可以在系统之间快速传输,并使远程流程监控和流程控制成为可能。Endura II的整体性能和可靠性使其成为LPCVD工艺的绝佳选择。它是需要高重复性和高均匀性的生产过程的理想工具，例如氮化硅或多晶硅的沉积。强大的EasyCenturion软件也使其成为基于研究的应用程序的绝佳选择，允许新工艺的快速原型设计和不同反应堆之间的快速转移。