二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358612 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种用于半导体制造过程的工具。它利用化学气相沉积（CVD）通过超高真空（Ultra-High Vacuum，UHV）腔室将氧化物、氮化物和其他材料的薄膜沉积到基板中。这种CVD工艺可以精确控制沉积材料的厚度和组成,使其成为制造高质量电子元件的理想选择。AKT Endura II反应堆有一个特高压室，带有冷冻泵浦离子源，设计用于处理多种材料。腔室可以进行压力密封，并具有内部的测量和控制系统，以确保可重现的结果。可编程逻辑控制器（PLC）用于管理和控制过程参数,以实现最大效率。AMAT Endura II配备了两条可供应多达10种气体的气线，外加两条辅助气线。燃气管线可以配备手动、气动或电机驱动的阀门。气体管线允许将气体精确引入和溷合到加工室。EnduraII具有先进的石英蚀刻系统,可确保底物正确悬浮.底物可以加热到高达1,000 °C的温度，这允许在腔室中进行主动过程步骤，包括化学蚀刻、热氧化、离子轰击和化学气相沉积。内置等离子体发生器用于增强低温操作。APPLIED MATERIALS Endura II的设计考虑到安全性和易用性。机组完全封闭，配有安全联锁，防止意外操作。PLC可以编程为半自动操作，以确保可重复和可重复的结果。该单位正在自我诊断，并配备了一套自动化监测系统，以确保最大程度的安全和准确性。