二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358613 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9358613
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种先进的、计算机控制的化学气相沉积(CVD)反应器。该反应器用于金刚石和类似金刚石的碳膜(DLC)的沉积。它配备了热壁敏感器,允许不同类型材料的吸热沉积。吸热技术允许在固有的非稳定或氢稳定的金刚石和金刚石复合系统中改善薄膜性能。AKT Endura II能够在单一固定气体饲料基础上沉积任意数量的碳氢化合物膜无序相。这包括金刚石、无定形金刚石、无定形氢化碳等高分子石墨材料。CVD工艺涉及两种气体的化学反应,通常是碳氢化合物和氧化剂,AMAT Endura II设计用于精确控制沉积材料的底物。Endura II使用专有的AKT双轴冷壁旋转敏感器,以利于均质膜生长。金刚石沉积过程中的双轴冷壁钟罩和拓扑避免了许多常见的问题。这有助于确保统一的曲面拓扑结构,该拓扑结构有利于在需要高度有序和健壮曲面的区域中应用。APPLIED MATERIALS Endura II的一个独特特点是它结合了闭环气体在线监测系统,以及一个预编程的气体溷合模块。该系统具有精密、稳定的气体溷合等优点,可精确控制沉积速率,提高膜的均匀性。反应器内气体溷合的常数监测使得沉积过程能够不断调整和微调,以达到所需的薄膜沉积特性。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II也纳入了用户界面(UI)的使用。这允许远程和方便地访问控制设置、所有流程参数的高级自动化以及对流程条件的实时监控和评估。UI还允许操作员创建和保存特定于其质量控制要求的配方。AKT Endura II能够支持多种物理化学过程,包括化学气相沉积、激光烧蚀沉积和溅射过程。由于其先进的特性,AMAT Endura II被广泛应用于多个行业,其中包括但不限于半导体、航空航天、生物医学、纳米材料和汽车。
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