二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358618 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆是一种高度可靠的工业级沉积工具，用于先进的半导体制造工艺。这座反应堆以其坚固的设计、耐振和较长的使用寿命而闻名。AKT Endura II反应堆由几个组分组成：基室、负载锁定机制、气体分配系统、离子源、靶标和等离子源。底座室由两个部分构成，一个中央主体和一个可移动的盖子--全部由铝制成。盖子将所有组件固定在一起，并用四个快速释放夹密封，而中央机体则能承受大气压。该室还包括几个用于压力、动力和气体输送线路的不锈钢端口。位于腔室外部的真空泵允许在腔室内进行压力控制。锁载机构提供了一个非密封、加热的腔室入口。负载锁有两个部分：输入门和输出门。输入门的设计是为了防止污染物进入，而输出门则防止高压从腔室逸出。气体分配系统由气体管线和气体管线两部分组成。气线设计用于调节每种气体的流量和测量腔内的压力。煤气管是一系列将气体引向室内目的地的管子。离子源设计用于将带电粒子引入沉积室。这是通过施加电场来实现的，导致粒子从源头喷射出来并向目标移动。目标是放置在腔室内部的工件。这通常是一种基材，如硅片。沉积过程中，目标被离子和沉积物质轰击。等离子体源负责使粒子通电和促进沉积。这个源利用高频电波产生一个等离子体，然后直接进入腔室。总体而言，AMAT/AMAT Endura II反应堆是一种功能强大、可靠且易于使用的半导体制造工具。系统的许多组成部分在设计时考虑到了寿命和效率，为用户提供了成本效益高和可靠的沉积过程。