二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9358621 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种高性能的反应性离子蚀刻(RIE)系统,用于先进的半导体加工。AKT Endura II是为满足最高质量标准而设计的,它在多种材料上提供精确、可重复的蚀刻,具有超高工艺能力。这一创新系统具有广泛的性能特点,包括:高效的氟碳等离子体加工源,它使AMAT Endura II能够比传统的RIE系统更快、更精确地蚀刻。完全灵活的流程功能,允许用户"拨入"几乎任何配置文件或音高。低热预算功能,可提供高精度和高效的处理,且对工件的损坏最小。提供流行的易于使用的软件控制软件包,以促进蚀刻过程开发和工具集成。高端过程监视和控制技术允许用户实时监视和调整蚀刻过程。多功能基板处理功能,可容纳各种基板,包括平面、晶片、厚膜、纳米结构和3D微结构。创新的自动化晶圆处理系统,可实现高吞吐量处理和减少系统停机时间。主动反馈控制机制,允许用户自定义每个蚀刻步骤的过程参数。与CF4、O2和SF6等各种蚀刻化学物质的兼容性,使用户能够将蚀刻化学物质与其工艺要求相匹配。Endura II代表了先进半导体加工工程创新和性能的巅峰。其先进的特性、高精度的控制和灵活性使其成为各种蚀刻应用和工艺的理想组合。此外,其强大的价值主张使得它成为许多用户的一个有吸引力的选择。
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