二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363126 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一种用于化学气相沉积（CVD）过程的反应器。它设计用于在各种基板上进行不同厚度的导电层和介电层的沉积。AKT Endura II具有全自动CVD系统，带有1-5英寸的工艺室和集成晶圆处理系统。它能够生产透明和导电氧化物、电介质、氮化物、碳化物等多种材料系统。AMAT Endura II利用具有低压CVD工艺的独特工程远程等离子体源,提高了效率和性能一致性。该反应堆利用了一种称为线性扫描的技术，允许各种底物上沉积厚度的变化范围。由于集成的高通量偏转器限制了均匀膜生长的沉积面积，线性扫描过程是可控的，并且产生均匀的层。Endura等离子体源能够同时在多个气体上运行，从而在生产薄膜和涂层时近似达到理想的环境。应用材料Endura II反应器的高过程节流有助于降低整个基板的温度梯度。这样就提高了整批晶片涂层的稳定性和均匀性。此外，远程等离子体源有助于加速材料的生长，从而减少循环时间。这确保了CVD反应堆能够快速、轻松地达到高效率的水平。Endura II还具有先进的自动化、CCD成像、化学计量和先进的晶圆抓地力机制等其他功能,这些功能对整个晶圆处理操作提供了出色的控制。该工艺使各种材料能够以非常高的沉积速率使用。生产材料的高通量和高质量是使AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆成为在多种基材上生产高性能涂料的卓越CVD系统的主要因素。