二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9363128 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9363128
晶圆大小: 12"
PVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种用于半导体制造的先进物理气相沉积(PVD)反应器。它提供严格的过程控制,以提高一致性、可重复性和高吞吐量。它是一台高性能机器,由三个主要部件组成:工艺室、真空设备和工艺控制系统。加工室是一个密封真空容器,配有用于固定基板的倾斜和旋转架子。在製造过程中,基板被装卸,腔室也可以被倾斜和旋转,使基板倾斜以获得最佳涂层。真空装置控制室内气体的流动,负责清除排出的物质。该机还负责在沉积过程中保持腔室处于真空状态。第三个主要组成部分是过程控制工具。这是通过精确控制气体流动、温度、压力和基板位置,确保涂层过程中精度和可重复性的机制。它可以检测和监测压力、载气流量和沉积速率等各种过程变量,有助于达到预期的结果。它还负责控制节气门、电源系统和等离子体发电机,让这些部件发挥最佳工作。AKT Endura II是一种高度先进的PVD反应堆,适用于最先进的半导体制造工艺。它有效地结合了工艺室、真空资产和工艺控制模型,提供精确的涂层工艺,确保了均匀性、可重复性和高通量率。它是获得最高涂层质量和最大生产率的首选产品。
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