二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9372655 待售

ID: 9372655
PVD System DT ESC Puck for SLT ESC Part number: 0010-41276.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种设计用于先进半导体制造工艺的反应堆。它是一种物理气相沉积(PVD)系统,用于生产超薄、超小的半导体薄膜。AKT Endura II是一种灵活通用的反应堆,允许多种材料沉积在多种底物上。AMAT Endura II提供了广泛的操作灵活性,使其适合生产多种类型的薄膜设备。反应堆有几个特点,能够沉积薄膜和结构,满足现代半导体应用的苛刻要求。Endura II具有低压、连续侧向凝固(SLATE)工艺室,可使用合金化、合金化扩散和薄膜应用等先进技术沉积材料。SLATE工艺能够同时使用多达五种不同的材料,从而能够沉积具有复杂和工程界面的结构。APPLIED MATERIALS Endura II还具有一些实用程序,例如用于实时过程控制的射频放大器、发电机和现场监视器。该系统还具有几个用户友好的功能,例如预编程配方和流程的能力,以及从其他系统轻松传输数据的能力。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II还支持各种用于薄膜和结构表征的原位和异位计量工具。这些工具能够测量薄膜的应力、厚度、组成、电气、光学和表面特性。AKT Endura II是先进半导体制造工艺的通用可靠工具。它使用简单,允许材料沉积在多种基质上。其坚固的设计允许以经济的成本沉积高性能的薄膜。
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