二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379779 待售

AMAT/APPLICED MATERIAL/AKT Endura II是AKT为半导体工业设计制造的反应堆。它是一种具有变频激发、200毫米（7.87英寸）晶圆容量、采样级石英Q环以及各种类型端点检测传感器的无功离子蚀刻器（RIE）机器。AKT Endura II机，为半导体行业设计的一种化学蚀刻器，是一种高效、经济高效的解决方桉，满足了半导体行业的需求。AMAT Endura II的ETCH速率从0.1到>10 μ m/min不等,非常适合蚀刻各种材料,如Sidewall隔离结构、RIE氧化物、氮化物和多晶硅以及各种金属、氧化物和氮化物。它由一个工艺室、一个石英Q环、顶部、PCBA板、底部、一般气体组件、一个ACBL离子源和一个工艺室组件组成。APPLIED MATERIALS Endura II可以提供广泛的真空水平，以处理各种蚀刻工艺和蚀刻气体。一个变频机械激励电源也包括在反应堆。Endura II反应器上的Q环设计成以不同角度旋转样品支架上的样品，以确保样品均匀蚀刻，防止横向蚀刻。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II利用多种溷合气体和工艺气体产生其他参数，如压力、温度和射频功率，以确保适当的RIE蚀刻。再者，AKT Endura II是计算机控制的，使用各种软件程序来管理蚀刻过程。这样可以精确控制蚀刻过程，以便在各种材料上达到预期的结果。此外，AMAT Endura II还配备了多种端点检测传感器，用于精确测量压力、功率、负载和温度。总之，APPLIED MATERIALS Endura II是一种具有200 mm晶圆容量和各种端点检测传感器的高效、经济高效的无功离子蚀刻器。它是一种可靠、精密的机器，在半导体工业中具有广泛的蚀刻应用。