二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种用于制造集成电路的高性能沉积系统。该反应堆在紧凑和复杂的真空环境中运行，能够沉积多种材料，包括多晶硅、氧化物、铝、钛和氮化物。AKT Endura II反应堆具有双溅射源以保证最佳沉积性能，使其成为先进设备生产的合适平台。AMAT Endura II反应堆具有创新的设计特点，使其成为可靠而强大的沉积工具。反应堆设有一个全室外壳，几乎是密封的极端温度稳定和减少背景污染。这个反应堆的内部有弹簧加载的目标和提供反应性气体极好电离的双源多磁体组件，从而产生均匀、高密度的等离子体。这种沉积均匀性能有效可靠地掺杂具有优良薄膜性能的材料。优化的磁控管设计也通过防止颗粒飞回基板上来最大限度地减少溅射污染。APPLICED MATERIALS Endura II反应堆也有多项安全特性。先进的燃气机架监控系统设计采用三重供应和净化路径，以确保适当的燃气预调和溷合。这降低了堵塞、气体泄漏和其他潜在危害的风险。先进的数字控制器系统可实时调节压力和温度，确保对复杂参数的最佳控制。这也可以精确控制总沉积厚度和均匀性。恩杜拉二号反应堆的多功能性是其最强优势之一。双源设计和出色的电离为各种材料提供了极好的沉积均匀性。这种多用途工具能够在一个周期内执行快速、多个源溅射序列，而其数字控制器在基于参数的操作中提供最高水平的控制。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II反应堆具有多重的安全性和性能特点，是半导体工业中最先进的沉积工具之一。