二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9389807 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 9389807
PVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一种等离子体增强化学气相沉积(PECVD)反应器,用于在半导体和太阳能光伏器件上生产薄膜涂层和沉积。该反应器能够提供均匀的薄膜,具有出色的像素填充和高通量。AKT Endura II被设计为高度可靠,对于各种类型的流程都有宽广的流程窗口。该设备由三个主要组件组成:电源模块、气体分配模块和工艺室。电源模块包含等离子体能源、高压电源和等离子体点火控制器。该系统允许精确控制等离子体温度和密度,以获得可重复和可重复的结果。气体分配模块将过程气体分配到腔室,还负责控制过程气体的压力和流量。该工艺室本身的设计具有坚固可靠的设计和易于使用的控制单元,为几乎所有沉积过程提供了一个宽广的工艺窗口。该机器能够处理尺寸不超过41英寸的沉积设备,并允许在使用非晶硅或硅烷气体时,连续的沉积速率高达500 Ångströms/分钟。它还提供了一个自动清除工具,在每次沉积后清洗腔室。此外,AMAT Endura II包括一个可靠的安全资产,用于监测和检测任何超出范围的潜在工艺参数。该模型是太阳能电池生产和其他半导体应用的理想解决方桉,需要精确的薄膜沉积,需要宽广的加工窗口。它为大面积薄膜沉积提供了最高的吞吐量,同时确保了可重复性和可靠性。这对于制造商确保其半导体或太阳能光伏设备的涂层准确、均匀至关重要。
还没有评论