二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9402493 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是为半导体器件制造而设计的先进加工系统。它用于先进的沉积和蚀刻应用，由四个主要部件组成：反应堆（能够进行半导体处理）、传感器模块（实时腔室过程监测和调整）、过程控制模块（数据监测和控制）和净化系统（用于净化处理中使用的气体）。反应堆由一个真空室组成，待加工的基板被放置在真空室中。有允许沉积气体、蚀刻气体和净化气体进入腔室并用于加工的入口。将腔室加热并保持在最佳温度范围内,以确保所需的处理结果。固定底物的臂根据需要升降，以便优化和控制反应，在施加高频能量并将RF功率传递到反应室时产生等离子体。传感器模块在反应过程中监视等离子体、腔室温度和其他变量，以便进行必要的过程调整。这些信息也被发送到工艺控制模块，该模块分析数据，并决定是否需要额外的射频功率，或者是否应使用不同的气体溷合物。过程控制模块还具有可以控制反应过程所有方面的子系统。这包括控制底物温度，调整蚀刻和沉积速率，改变蚀刻和沉积配方，准确控制整个过程。工艺控制模块还使操作员能够调整腔室内部的压力，通过确保阀门和其他压力控制被打开和关闭，以保持腔室内部的最佳压力。净化系统有助于保持沉积和蚀刻过程中所用气体的最佳纯度水平。多级过滤系统确保过程中使用的气体保持在最高质量水平。这有助于保护被加工的基板，并确保结果是一致的和可重复的。AKT Endura II是一款功能强大、可靠且用途广泛的半导体制造机器。各种组分协同工作，不仅提供了最佳结果，还允许对整个反应过程进行大量控制。这样可以在高级沉积和蚀刻应用中实现可重复的高质量结果。