二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9008985 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber是一种自动化的大型集成工具（IT）反应器,旨在加快制造半导体芯片的制造过程。这是一种有效的方法，可以在进入传统的加工室之前从基板和晶片中去除关键的污染物层。这个腔室对于清除污垢、灰尘和其他挥发性有机化合物（VOCs）特别有用，否则这些化合物将通过传统的加工腔室并嵌入芯片的电路中。AMAT Endura Pre Clean Chamber有一个内置的自动化控制设备，可以对过程进行持续监测。它是多步半导体处理系统的第一步，由于高度集成，提供了较低洁净空间占地面积的主要优势。Endura由专利单元控制，能够控制温度、压力、氧气浓度和其他变量。预清洁室采用可编程参数和自主调整工艺条件。它以两种不同的程序运作，一种是用于沉积氧化物的单步工艺，另一种是用于沉积和蚀刻单层的两步工艺。腔室直接构造成晶片加工机，提供了一个密封的工作环境。腔室采用不锈钢结构，并配有高纯度O形环，用于改进密封。该室还包含三个独立操作的射频等离子体区和一系列多级内部滤波器，为洁净室处理提供了更好的环境。腔室内的内置控制器可以监控和调整各种基板和工艺参数。它还提供快速的温度和压力控制，以及实时缺陷检测，以及对基板温度和射频功率的控制。监控工具提供所有过程变量的完整可见性,确保晶圆产量达到最高水平。该腔室极其可靠和高效，能够在维护最少的情况下全天候运行。其用户友好的界面简化了编程、操作和控制，使操作员能够以最小的努力轻松获得最佳效果。这室是一个伟大的工具，以确保最大的晶圆质量和产量在半导体制造过程中。它提供了巨大的物有所值，提供了一个可靠和高效的解决方桉，在进入传统的室内之前迅速从基板上清除污染物。它是洁净室制造必不可少的、成本效益高的组成部分。