二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber #9009003 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura Pre Clean Chamber是一种自动化多晶硅反应器，设计用于在硅烷沉积的化学气相沉积（CVD）过程中提供高水平晶片清洗。这种专门的反应堆用于在沉积过程开始之前有效地清洁晶片，帮助消除污染并确保一致、高质量的沉积结果。预清洁反应堆室呈圆柱形，设计为同时容纳多个晶片，允许增加吞吐量和减少循环时间。在腔室内部，战略性地放置了多个气体喷射器，以帮助促进硅烷和反应物气体在晶圆表面的均匀分布。整个腔室也进行疏散和加热，以确保整个清洗过程的温度均匀。清洗过程本身是自动化的，包括几个阶段。首先，硅烷被加热并通过喷射器进入腔室，在晶圆表面上形成均匀的反应物颗粒涂层。接着，晶片加热到预定温度，有助于引发氧化物的形成和分解。此过程有助于有效、快速地清除存在的任何表面污染物,并为CVD处理准备晶片。一旦预清洁清洁完成，腔室就用非氧化气体清洗加压。这有助于保护晶片在从腔室中取出并转移回CVD单元时免受氧化和进一步污染。AMAT Endura Pre Clean Chamber是晶圆清洗解决方桉的绝佳选择,提供一致可靠的性能。