二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura PVD #9213370 待售

AMAT Inc.Endura Physical Vapor Deposition （PVD） Reactor is a multi-chamber tools set designed to makely precious of a various of thin milin materials.AMAT/APPLIED MATERIALS Endura PVD设备适用于广泛的应用，包括制造电子元件和互连、光电器件、振动MEMS器件和先进的光伏电池。该系统是模块化的,允许使用不同的配置来满足各种工艺要求。AMAT Endura PVD单元围绕单室或双室机器配置的中心集群构建。每个腔室包括一个PVD源，如三甲铝（TMA）双极源、电子回旋共振源、铁桥磁控管源或电离簇束源。然后将源依次调高到工作温度，使用闭环热控制工具在沉积过程中保持精确的温度稳定性。然后使用高性能涡轮抽水设备将腔室抽空，抽水速度范围很广。这些腔室的设计目的是对来源材料进行高精度的通量控制，从而实现非常均匀的薄膜沉积。在APPLIED MATERIALS Endura PVD系统中也可以使用过程控制,从而可以对膜厚度进行现场精确监测。还提供了执行器和运动控制器，允许在各种基板形状和尺寸上进行沉积。此外，Endura PVD系统可以配备精密的在线计量能力，包括X射线光电子光谱（XPS）和二次离子质谱（SIMS）。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura PVD模型还设计用于促进高通量性能,具有高沉积配方和工艺的可重复性。快速的工具交换、快速的过程晶片扫描和快速的预热时间确保了关键应用程序的顺利生产。这套工具还旨在确保在基板兼容性、最高温度均匀性和没有"边缘效应"方面的高端效果。总而言之,AMAT Endura PVD设备提供了一种多功能、精确的沉积技术,可配置为支持制造高密度、低成本和高性能的薄膜产品和组件,使客户能够在不断变化的技术环境中保持竞争力。