二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura SL #293819858 待售
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ID: 293819858
晶圆大小: 8"
PVD System, 8"
Sputter etching
(2) SIP-TI Channels
(3) Channels
No MG Rotation assembly
No DC Cable
No RF Cable
No CH-A Stage
No ESC
No DC Sputter power supply
No RF power supply
No Dry Pump
No BEC Terminal
No Mg Motor
No Magnet
No Lift cylinder set
No Matching box
No Turbo controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SL反应器是一种技术先进的等离子体蚀刻沉积设备。反应堆能够进行各种沉积、蚀刻和清洁过程以及清洁过程。这是一个单室系统，允许在同一室内执行多个过程步骤。AMAT Endura SL反应器具有先进的光学端点检测装置,以确保准确的过程控制。这台EPD机器具有超快的独立于极化的探测器、紫外线和可见光谱能力。此监视器允许蚀刻所有材料,包括铝和铜。此外，该工具还具有对资产中的温度和压力进行自动监控和调节的能力，以保证蚀刻零件的质量一致。APPLICED MATERIALS Endura SL模型是为极致性能而构建的,通过利用设备的高沉积速率和高工艺速度,操作员可以显着提高生产吞吐量。该系统还能够快速轻松地处理复杂且难以蚀刻的设计,从而提高了工作效率。该设备具有自动化配方功能，消除了操作人员出错的可能性，提高了质量、一致性和可靠性。Endura SL反应堆还配备了先进的等离子体清洗机，可帮助快速高效地清洁和加工表面。该工具采用了创新的介电加热、气相和尘埃过滤技术，以实现最佳的清洁和性能。反应堆还有一个功能齐全的反应性溅射模块，用于最佳沉积控制。这个模块产生了广泛的等离子体放电特性，从慢到超快，允许优秀的表面覆盖。凭借其强大的光学端点检测功能,Endura资产确保了过程的均匀性和可重复性,提供了一致且高质量的结果。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura SL反应器是一种功能强大的多功能等离子体蚀刻沉积模型，能够提供精确、高质量的结果。它有一个先进的EPD设备，用于精确的过程控制，以及一个内置的清洁模块，用于快速和高效的清洁。AMAT Endura SL反应堆工艺时间快，输出一致，是一系列工业应用的理想选择。
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