二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9192252 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ反应堆是一种最先进的化学气相沉积（CVD）设备，旨在为用户提供半导体行业内无与伦比的工艺控制和精度。该系统利用一系列先进技术来实现最佳的过程控制和产品质量,提高了长期生产率,同时最大限度地提高了产量和成本效益。AMAT Endura TxZ反应堆具有超低热质量（ULTM）发电机室和基板柜。此设计最大限度地减少了寄生损失,并最大限度地提高了热性能,大大缩短了热循环时间,并提供了较高的工艺速度。创新的多区域温度控制单元通过对每个单独的温度区域进行微调，进一步最大限度地提高了控制精度，减少了非生产性过程时间。此外,板载压力增强器还可以将热循环时间降至最低,从而实现更高的吞吐量速率。为保证设备生产质量,应用材料Endura TxZ反应堆提供了对所有参数的绝对过程控制和可重复性,包括源温度、安装高度、转速、运动时间、气体溷合物和气流。进一步，该机被设计为整合了大量先进的过程监测和控制工具，包括实时原位过程分析和控制、总压力控制、实时光谱、图像识别系统和定量分析。Endura TxZ反应堆还融合了多种安全功能，包括自动释放压力系统和反应堆安全关闭机制。这确保了用户的安心,并为设施中的操作员和同事提供了额外的安全级别。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ Reactor提供了一套令人印象深刻的特性，使其成为半导体应用中高级工艺控制的理想选择。该工具的先进技术确保了快速的热循环时间、过程可重复性和出色的产品质量结果,因此用户可以依靠资产来帮助他们达到最佳的过程性能和成本节约。