二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ是一种先进的直列式直热处理反应堆，用于大容量半导体器件和光伏电池制造。该工具能够处理300毫米（12英寸）晶圆,从而实现更高的吞吐量和更好的生产率。AMAT Endura TxZ工艺室分为几个区域，每个区域都是专门为处理不同的功能而设计的。盒式工作站既能容纳电子束蒸发源，又能容纳物理气相沉积（PVD）源。该工艺室还配备了先进的冷却和温度控制机制。此外，APPLIED MATERIALS Endura TxZ使用高频、高占位循环电源快速加热工艺室。Endura TxZ可以处理多种类型的材料，包括砷化氙、二氧化硅（SiO2）、氧化锡氙（ITO）等化合物。它还能蒸发铝、镁等元素材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ是精密沉积抗反射和抗反射涂层材料以及多种其他材料的理想选择。它还具有广泛的工艺能力，包括溅射、化学气相沉积（CVD）、电子束蒸发和原子层沉积（ALD）。除了工作温度范围为200-1200 °C外,该工具还具有高级监控、诊断和清洁系统。内置的传感和控制设备确保晶片的精确定位，并确保整个晶片表面均匀沉积。它还允许对工艺参数进行最佳调整以改进结果。AMAT Endura TxZ包括实时监控和诊断系统，为配方开发和优化提供一致的数据。诊断单元还会监视和报告机器的任何潜在问题,从而为工程师提供即时反馈,使他们能够快速响应任何问题。APPLIED MATERIALS Endura TxZ与半导体制造中使用的其他先进工具兼容。它被设计成能很好地与机器人、除尘器和其他后处理设备相结合。这使工程师能够在流程中添加更多的自动化层,从而确保更快的周转时间、更高的准确性和更高的产量。它还具有适应不断变化的过程要求的灵活性，使其适合广泛的应用。从芯片制造到光伏，Endura TxZ是一种用途广泛、可靠的处理解决方桉。