二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD反应器是物理气相沉积（PVD）应用的尖端工具。该反应器设计用于将薄膜层沉积在具有优异工艺均匀性和可重复性的基板上。该设备是业界领先的工艺工具,可提供可靠的PVD薄膜沉积,并支持多种沉积技术。AMAT Endura VHP PVD反应堆在工艺灵活性、高通量和超低颗粒性能方面提供了最佳设计。它利用射频（RF）和高密度直流电（DC）电源,在广泛的基材材料和尺寸上实现具有卓越均匀性和栅极速率的薄膜层。该系统包括用于腔室、源、基板支架和晶片级的下一代设计，以提高热和粒子性能。此外，反应堆还配备了电动防护功能，以提高工艺可靠性。APPLICED MATERIALS ENDURA VHP PVD反应器还能够输送沉积前体，这些前体可装载到底物产物支架上，并快速驱动至反应室。增强的运动控制和优化的镜面位置感测保证了优越的工艺效果。此外，该单元还设计用于支持商业、研发和试点生产应用。Endura VHP PVD反应器有能力借助集成诊断机器准确测量整个基板的沉积速率、温度剖面和薄膜厚度。该工具还支持各种分析工具，有助于实时监测沉积过程及其随时间的演变。该资产的设计非常方便用户,并提供了广泛的配方和配方定制功能,允许用户根据自己的需求定制流程。此外，反应堆具有先进的故障检测和分辨率，能够检测由于意外事件引起的过程不一致，并确保在不中断过程的情况下迅速解决任何已查明的不一致。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD反应器是一种可靠、高效、可定制的物理气相沉积工艺工具，具有优异的工艺均匀性和可重复性，优化了运动控制和镜像位置感测，并集成了实时监测沉积工艺的诊断模型。