二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是为制造前沿半导体器件而设计的高度先进的化学反应器和传质系统。反应堆包括独特的特点，在各种半导体器件的开发、制造和测试中实现高生产率、高吞吐量和低成本运行。AMAT ENDURA反应堆由一个外壳和三个主要组件组成：一个反应室、一个外壳和一个预处理室。反应室为化学过程提供了受控的环境，使高速生产的停机时间最短。它旨在保持一个受控的、均匀的温度和压力，以及控制气体和液体的流动。外壳容纳反应室和预处理室，并用氮氧溷合加压，确保设计过程的最佳环境。除了其反应室外，APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor还包括一个预处理室，它允许在底物进入反应室前清洗和/或处理底物。腔室由一系列腔室组件组成，其中包括一个水环，用于水的清洁和冷却；用于化学清洗的洗涤器；蒸汽箱加热器，用于蒸汽清洗；用于热清洁的高温炉；以及用于臭氧清洁的臭氧发生器。此外，ENDURA Reactor还配备了enviromax控制器，它提供了经济高效、功能强大、可靠的自动化和过程控制系统。这种基于微处理器的控制器提供了对反应堆运行的精确控制，允许广泛的运行范围、高效的两步过程运行、高吞吐量和快速的配方开发。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆因其无与伦比的性能和可靠的运行在半导体工业中得到了广泛的应用。反应堆的先进特点提供了快速可靠的底物加工，而易于使用的自动化系统则确保了高效运行和快速配方开发。此外，反应堆是为低成本使用和维护而设计的，使其成为成本敏感市场应用的一个有吸引力的选择。