二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #200767 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是为离子植入和薄膜沉积而设计的半导体加工设备。用于处理先进的微电路元件，如薄栅极氧化物、栅极电极以及晶体管中嵌入的再入层。AMAT ENDURA系统包括两个主要组件：植入和沉积簇（IDC）和过程控制/监测（PCM）单元。植入和沉积簇（IDC）是单位的心脏，负责控制过程功能的顺序和时序。它包括为驱动基于等离子体的过程提供必要能量的电源和两组高压磁控管电源。这些源产生一个高温等离子体，然后用来产生高能离子，可以用于植入，或者将薄膜溅射到基板上。高压电源还可以控制植入深度和薄膜沉积过程。过程控制/监视（PCM）单元是机器的大脑。它是一种计算机工具，负责监督整个过程，从启动、监控到准确控制操作参数。它接收各种传感器的输入，包括监测每个腔室压力、温度和污染水平的真空泵和离子计。PCM还对高压磁控管源进行监控，通过监测所发射的能量并相应设置极限来确保正确运行。APPLICED MATERIALS ENDURA资产被设计为可靠、易于使用、价格实惠，使其成为许多半导体公司的诱人选择。它具有强大的设计,包括各种可互换的腔室以适应任何特定的工艺要求,以及高度灵活的软件平台。这产生了比传统系统更快、更高效的处理协议，错误更少，结果更可靠。该模型既能处理小基板也能处理大基板，并提供完整的可追踪性和过程控制，使其成为现代加工应用的可靠选择。