二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293618286 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor（AMAT ENDURA）是一种物理气相沉积（PVD）设备，专门为金属膜沉积在基板上而设计。这种PVD系统适用于多种材料，包括硅片、玻璃、金属和聚合物。应用材料ENDURA反应器能够沉积厚度在1到200纳米之间的薄膜。可用于沉积多种金属，包括铝、金、铵、钨、镍和钛，以及各种合金。该单元使用超高真空室创建一个近乎完美的纯净物质来源，其中金属将升华，然后沉积到基板上。超高真空室保持在5x10-7 torr的底压。气体被引入通过热区加热器的腔室，导致气体分子分离成原子。这些原子使用等离子体源被电离，然后通过电磁场穿过底物。当离子撞击基板时，它们聚集并形成所需金属膜的层到表面。该机还配备了涡轮分子泵，保持腔室内的高真空，为沉积过程提供了最佳环境。涡旋磁铁可以用来过滤掉可能损害被沉积材料纯度和质量的颗粒。反应堆还配备了激光干涉仪和各种工艺诊断系统，以及一整套软件，可以精确控制沉积参数。ENDURA反应器是一种强大而精确的PVD工具，非常适合将金属薄膜，包括高性能合金沉积到广泛的基板上。它能够在厚度和成分的精确控制下沉积薄膜，这使得它成为许多工业制造的宝贵工具，从微电子和半导体到太阳能电池、显示器和微机电系统。