二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293767186 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是一种用途广泛、可靠的半导体制造设备，具有多种优点。由于易于使用,它具有较高的吞吐量和卓越的吞吐量统一性以及较低的拥有成本。该系统由几个组件组成，包括预清洁室、蚀刻室和后清洁室。预清室在进入蚀刻室前进行高纯度的水冲洗以清除碎屑和颗粒。它还负责等离子体解吸清洗和除去气体，以帮助蚀刻过程达到其最佳参数。蚀刻室包含主要沉积源，通常是高频感应耦合电极，并允许一系列蚀刻工艺参数。后清洁过程旨在清除蚀刻过程中剩余的副产品。AMAT ENDURA反应堆是一种高性能蚀刻装置，具有大量的能力。为实现高度统一和可重复的结果而设计,其参数范围允许各种材料和工艺配置文件。自动化和机器人控制的集成使机器更易于配置和使用,从而随着时间的推移降低了拥有成本。根据客户的需求和流程要求,该工具还提供了一系列附件选项。其中包括应用材料ENDURA烤箱、ENDURA PLC和AMAT/应用材料ENDURA热成像模块。所有这些附件都与主要资产无缝集成,使其更易于配置和监控蚀刻过程。AMAT ENDURA反应堆还提供各种安全导向的特点。一盎司的预防可以节省一磅的治愈，而应用材料ENDURA反应堆为蚀刻过程提供了一个安全、合规的解决方桉。这包括安全和排放保护、运动控制系统和低泄漏阀，以保护人员和环境。总体而言，ENDURA反应堆提供高性能和可靠的蚀刻性能，拥有成本低于许多其他型号，以及一系列选项和配件，以根据特定需求定制设备。它具有广泛的工艺参数和安全特性，是半导体制造和工业蚀刻工艺的理想系统。