二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9052314 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高度先进和专业化的半导体加工反应堆。它旨在使半导体行业的公司和研究人员能够制造最优质的光掩模、多芯片模块和生产复杂的晶片级元件。AMAT ENDURA平台是一个具有水平轴和垂直轴的双轴结构，为用户提供了进行原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）和其他高精度晶圆级处理的经济高效的解决方桉。这种设备的主要优点包括能够以可靠、可重复的方式处理各种各样的基材，以及能够以无与伦比的精度处理过程。APPLICED MATERIALS ENDURA系统除了尺寸小至1mm的晶片等小基板外，还可用于加工高产量的10英寸砷化铵（GaAs）晶片等大基板。该装置具有适应性强的温度范围，加上高达2700毫巴的压力范围。它还提供了非常精确的温度、压力和处理时间因素的控制,确保了可靠、可重复的性能。该机可处理多种工艺化学，包括热氧化物、金属氧化物、氧化钴、金刚石状碳。可以实现的处理时间仅为几分钟,因此非常适合需要快速循环时间的应用程序。此外，反应器利用高频功率，这有助于确保精确的剂量控制精确的材料保形沉积。ENDURA工具配备意大利制造的运动控制器，提供卓越的性能，使在平台上精确准确地执行复杂的运动模式成为可能。资产是完全自动化的，使得用户能够最大限度地减少人工干预和人工处理晶圆的需要。模型软件包含了自控操作的板载配方，进一步优化了平台的性能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA设备是当今市场上最先进、用途最广泛的半导体加工反应堆之一。它为精密原子级加工和生产复杂晶片级元件提供了经济高效、可靠的解决方桉。其宽广的温度和压力范围、精确的控制以及快速的循环时间使其成为高端半导体制造的领先解决方桉。