二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9060632 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种高性能设备，用于在多种基板上沉积一致可靠的薄膜。该系统能够提供卓越的薄膜性能、均匀性和可重复性。这些薄膜的质量在AMAT ENDURA的业界领先的吞吐量、过程控制、灵活性和产量上都是显而易见的。应用材料ENDURA利用先进的弧枪技术生产高质量的薄膜.电弧枪由一个包含高导电材料的阳极组成，如钨、钼或铵。然后将阳极放置在真空室内，并使用直流电源在阳极和阴极或基板之间形成电弧。电弧然后产生中性等离子体，以及在基板上的薄膜。ENDURA单元提供了一个高度可调的平台,可针对各种应用进行定制。过程控制功能包括温度、压力和功率调节,从而能够微调薄膜沉积。这使用户能够对反应性气体、掺杂剂和其他工艺条件进行精确调整。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA机载板还提供了在沉积过程中修改膜厚度、均匀性和阶梯覆盖的能力。承载板利用多种气源输送增强膜，每种气源通过自己的气体质量流阀独立控制。这允许在沉积过程中对反应物气体进行调制，使薄膜具有优越的膜厚度控制。AMAT ENDURA反应堆是制造尖端装置的关键部件。该工具生产的优秀薄膜在保持高吞吐量周期的同时，提供了出色的工艺控制和可重复性。影片可靠一致，使用户能够生产出质量最高的终端产品。