二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9093781 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA设备是一个集群工具平台,专门设计用于提供经济高效且高度可靠的半导体生产解决方桉。具体来说，AMAT ENDURA平台被用于生产具有最大质量和性能的高级内存、逻辑和3D FinFET技术。APPLICED MATERIALS ENDURA系统使客户能够实现将最先进的半导体技术与最高的单元可靠性和性能相结合的先进半导体工艺壮举。ENDURA由一整套设备模块组成,旨在为流程工作流的不同部分提供服务。这包括沉积、蚀刻和清洁、掺杂沉积和活化以及通过蚀刻。此外,它还具有智能热控制系统和高吞吐量前端群集,旨在最大程度地提高效率并最大程度地减少停机时间。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA机利用最优质的固态CVD工具和标准的快速热处理工具进行沉积。这确保了每个工艺层的最高质量。它还提供了工艺层之间最高的均匀性、刚度和附着力，以生产具有非常薄的晶体管架构的生产级基板。AMAT ENDURA工具还配备了高端蚀刻和清洁模块，包括高性能等离子体蚀刻和用于沉积后清洁的LPCVD腔室。具体来说,蚀刻和清洁工艺使客户能够实现对外延层和半导体器件制造中使用的其他薄膜材料的高选择性和深度控制的硅蚀刻。APPLICED MATERIALS ENDURA还配备了高端掺杂剂沉积和活化资产，用于在器件结构中掺入杂质。该模型采用专有的掺杂剂化学和热活化，实现近乎完美的掺杂均匀性，达到完美的电性能和提高的器件性能。最后，ENDURA有一个创新的干蚀刻设备精密接触级光刻。这提供了具有次光刻间距和临界长宽比的高分辨率图样，这在先进的设备生产中是必不可少的。