二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是为超高生产率加工而设计的高度先进的沉积设备。它在设计时考虑到了最高的生产效率,并在各种过程中提供了极端的平台性能。AMAT ENDURA反应堆的堆芯是应用材料ENDURA增强级（EES）与自动化半导体生产系统（ASPS）。该装置提高了对材料均匀性的控制和保证，提高了工艺的准确性和可重复性。EES采用专有轴设计,使工具能够与相关的感应器和机器人臂集成。此外，EES提供了统一、准确和可重复的腔室运动图，更高效的基板装卸，并减少了维护时间。ENDURA反应堆的高通量沉积工艺利用液源输送机,能够将反应性离子蚀刻（RIE）工具或离子注入资产无缝集成到其体系结构中。这样可以实现流程步骤的一致和可重复吞吐量,以及自动化流程控制的完全集成。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆还具有一个真正的闭环过程控制和监测模型，该模型被集成用于优化过程开发和执行。AMAT ENDURA反应堆提供多种工艺室配置，目标材料不同。这允许用户进行全面的自定义处理和灵活性。APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆也有两种不同的运行模式，以提供优化的吞吐量和均匀性，这取决于工艺步骤或具体应用。在安全性方面，ENDURA反应堆拥有新开发的同时具有硬件和软件保护的安全互锁设备。这允许对系统中的任何流程步骤进行监控，并旨在为用户提供最高级别的安全措施。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆还设有一个全自动材料数据库，使用户能够始终保持有关材料工艺、当前工艺时间以及基板温度控制的最新信息。AMAT ENDURA反应堆还配备了批量跟踪单元和内部审计测井机。这允许用户记录对过程的任何更改,跟踪批次和底物生产,并对处理过程中所做的任何更改或操作进行审计跟踪。这样可以确保始终提供最新的信息。总之，APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种先进的沉积工具，能够在各种工艺中保持超高的生产效率和灵活性。它配备了多种特性和技术，以确保最佳性能和安全，并提供独特的生产控制平台和高吞吐量能力。