二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9105850 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应堆是用于半导体制造的工业级主力反应堆。这种物理气相沉积（PVD）工具设计用于将材料薄膜沉积在晶圆、芯片和其他基板上，用于电路、光子学、可穿戴设备和生物医学医疗植入物等多种应用。AMAT ENDURA反应堆采用专利的三室设计，允许在每个序列中多次沉积和暴露。它支持铜、钨、铝和硅化物等沉积材料，以及钛或铝等封盖材料。由于其精确的过程控制和可重复性，这种工具提供一致的结果和掩模的一致性。由于其超低粒子排放，不需要粒子计数器，晶圆回收和清洁的需要也较少，导致吞吐量比其他PVD工具增加。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR also features features a flexible controller that that accessed for the wamer environment to supperate d这有助于确保高质量的薄膜被沉积。除沉积能力外，ENDURA还能够使用包括过氧化氢和TMAH在内的多种化学方法进行湿蚀刻和表面清洁。这种蚀刻功能有助于提高某些设备的性能,例如MEM和其他对湿度蚀刻效果不佳敏感的设备。AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA反应器由于其多功能性、强大的设计和片断的思维能力，广泛应用于半导体和光电制造。实现了快速、准确的薄膜沉积，实现了良好的工艺参数重复性，提供了良好的工艺控制。