二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116839 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种物理气相沉积和蚀刻设备，旨在应对先进包装、光学和MEMS行业的生产挑战。AMAT ENDURA确保了精度、准确性和可靠性,以满足这些要求苛刻的应用程序的严格要求。APPLIED MATERIALS ENDURA的集成硬件平台设计用于沉积、退火、表面制备、计量和光刻等多种复杂过程。该反应堆允许低温、惰性、反应性和真空过程能力，以及过程控制。ENDURA可以加工金属、硅、氮化物、二氧化硅和有机材料等多种材料。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA具有模块化平台和与其他AMAT ENDURA系统的兼容性,为各种半导体和外形尺寸封装提供了可扩展性。APPLIED MATERIALS ENDURA还提供了与包括小尺寸晶片在内的多个晶片尺寸的兼容性。该反应堆是专门为在精确精度至关重要的环境中使用而设计的，适用于任何需要高吞吐量、重复性和卓越工艺控制性能的应用。ENDURA包括一套工艺控制系统，如AMAT i-coat工艺控制套件，提供自动晶圆修补和盖子间隙，以及自动化工艺配方、经验证的沉积速率和优越的工艺控制性能。这使得系统能够以最小的变化保持较高的沉积速率。该装置还具有多种选择，例如高沉积率的熔炉和无熔炉沉积物。其通过机械和低温泵产生的真空机，提供了对工艺时间和高真空环境的优越控制。高端工具包括ICP ETCH和APPLIED MATERIALS专利的POLITE面板和退火资产,用于为工艺和计量精度提供额外的蚀刻和退火控制。该反应堆还设有SEMI双梁对准站，以提高工艺精度和生产率。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器因其精确度和精确度而设计，以满足先进包装、光学和MEMS工业的需求。其优越的过程控制、模块化平台以及与其他AMAT ENDURA系统的兼容性,使各种过程能够减少停机时间并提高产量。该反应堆的多用途技术旨在帮助公司在其生产需求的整个生命周期内达到最高水平的工艺精度和产量。