二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种先进的高通量金属沉积设备，旨在提高金属沉积速率，提高技术要求苛刻的蚀刻、基材放置和沉积工艺的可重复性。该系统可实现单个或多个沉积源、连续或周期性晶圆旋转,并提供高均匀性和可重复性。AMAT ENDURA反应堆由几个组分组成，作为一个统一的单元协同工作，以有效地执行沉积过程。这些组件包括一个工艺室、端效应器、凸起的面板装载机、冷却风扇、加速度计、多个沉积源和一个专门的控制单元。加工室是机器的主要模块，由一对控制压力、流量和温度的同心汽缸壁组成。APPLICED MATERIALS ENDURA ENDE-EFFECTOR允许晶片在腔内放置和旋转，并放置在杠杆操作、低粒子发射、抬高面板装载机上方，以便快速和方便地装卸基板。一个大功率冷却风扇工具，加上几个温度传感器，在整个工艺室中保持均匀的温度分布。高级加速度计用于记录和监视晶圆的运动，以保持一致的结果。此外，ENDURA Reactor可配置用于多种沉积源，适用于各种合金类型及其沉积，其中包括氙、合金、金、铝等。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor还提供了丰富的功能,使资产更易于编程,减少了不必要的可变性,并提高了过程吞吐量和统一性。互锁功能可防止晶片仍在进行中时发生任何接口步骤,而安全模型可防止在互锁时意外打开工艺室门。控制设备允许用户精确地控制和规划整个沉积过程。直观的图形用户界面（GUI）允许用户实时查看、分析和修改基板位置和设置。该软件还能够自动生成用于多个复杂沉积的配方脚本,从而更快、更准确地执行作业。综上所述，AMAT ENDURA反应器是一种先进的高通量金属沉积系统，旨在实现沉积过程的自动化和提高效率。其精密的组件和软件使其成为可靠、通用和能干的单元，从而提高了金属沉积速率和准确性。这使得机器非常适合广泛的金属沉积应用，如蚀刻，基板放置和其他沉积过程。