二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116854 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种精密的等离子体蚀刻反应器，用于半导体制造工艺。它旨在提供最高级别的一致性、生产率和控制,同时保持最高级别的精度和准确性。AMAT ENDURA反应器被用于蚀刻过程中，这涉及到去除氧化物和硬面膜等材料以创建接触开口、沟槽和通气。APPLICED MATERIALS ENDURA反应堆的核心是Multi-micron Delta设备，利用三种主要技术实现精密蚀刻。首先是多微米气体碰撞，它不断地碰撞反应室内的气体，使它们能够更好地与样品反应，从而提高均匀性。其次是Multi-micron Magnetron-Enhanced Plasma Source，它利用低功耗的RF能量来提高均匀性。最后，将多微米电感耦合等离子体源用于电感耦合等离子体反应离子蚀刻过程（ICP-RIE），提高了材料的选择性。ENDURA还包括一个专有配方优化系统，该系统自动化配方执行和优化以实现最大的生产力。电源控制为用户提供精确的电压/电流/电源控制，使他们能够在蚀刻过程中进行调整以获得最佳效果。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器还具有几个工艺室，允许在原子层水平上进行包括氟和氯在内的多种蚀刻化学。AMAT ENDURA的主要特点之一是它的多模式操作，为用户提供两种操作模式：流程和监控。在过程模式下，用户可以对APPLIED MATERIALS ENDURA进行程序化蚀刻样品，而在监控模式下，单位则观察过程中的样品并记录压力、温度、气流、腔室密度等参数。ENDURA还具有自动诊断功能，可以检测流程不稳定并提醒用户，因此他们可以采取纠正措施。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种先进的蚀刻反应器，在半导体制造过程中提供无与伦比的精度和精确度。它结合了创新技术和自动化优化系统、Multi-micron Delta机器和配方优化工具,使用户能够放心地蚀刻更小、更复杂的结构,确保更高的产量和更大的利润。