二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9130423 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种先进的等离子体处理设备，旨在满足现代半导体工业的需求。它是一种单一晶片反应性离子蚀刻器（RIE），用于包括光刻和干蚀刻在内的多种工艺。反应堆配有等离子体源和集成系统控制器，以确保最佳性能。AMAT ENDURA反应堆常用于集成电路、MEMS和其他电子器件的制造。其大功率射频源可处理介电干蚀刻、薄膜沉积、硬面膜蚀刻、材料蚀刻等复杂蚀刻过程。其改进的均匀性和精确度使设备能够降低成本和提高性能。该反应堆是专门为提高工艺产量和吞吐量而设计的。它有一个集成的压力控制单元，在操作过程中保持最佳气流和压力，确保等离子体反应均匀，产品金属的ppm范围低。此外，反应堆先进的压力控制器和负载锁使得高通量制造复杂的高纵横比结构成为可能。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor还有一个集成的温度控制机，能够在蚀刻和沉积过程中维护动态温度曲线。这样可以提高工艺稳定性和均匀性,提高设备产量。ENDURA反应堆还配备了广泛的安全特性，如先进的真空工具和多级防护系统。这确保了操作过程中人员和资产本身的安全。这些安全特性与反应堆先进的控制系统相结合，保证了模型的稳定性和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种高度先进和可靠的加工设备，用于各种蚀刻和沉积过程。其先进的控制系统、均匀性和精确度使设备的制造具有更高的性能和更低的成本。其集成的压力控制、温度控制和安全系统确保系统能够安全可靠地运行。这使得AMAT ENDURA反应堆成为需要降低成本同时提高产量的半导体制造商的理想选择。