二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9150112 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种革命性的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备。它是一个高度灵活和先进的系统，在广泛的沉积应用中提供卓越的薄膜质量和性能。该单元旨在为用户提供定义其独特工艺参数的尖端选项，同时最大限度地提高生产率和产出。AMAT ENDURA Reactor由单室堆迭设计而成，允许多种晶片能力高达9英寸或更高，并配有一系列假晶片，确保膜质量的均匀性，以满足各种用户的需求。全自动解决方桉得到了先进的工艺控制器系统的补充，这些系统的功能从低温前体控制到腔室压力控制，以及从基板到基板的均匀性。该反应器采用具有特殊聚焦板和精确晶圆定位器的边缘偏置，以实现沉积的均匀性。还通过APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor先进的工艺监测能力，包括原位质谱仪和反射仪，确保了精确的薄膜性能。ENDURA反应堆还装有用于辅助工艺集成的锁载机，具备先进的安全特性和监控能力。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor用途广泛、用户友好，使用户可以快速轻松地定义其工艺参数，并根据不断变化的需求快速调整。AMAT ENDURA反应堆节能，有助于降低能源成本，符合确保安全工作环境的最高安全标准。总体而言，APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一种高度先进的工具，在各种沉积应用中提供卓越的薄膜质量和性能。ENDURA Reactor提供多种晶圆功能、先进的过程控制器系统以及原位质谱仪和反射仪，用户可以快速、轻松地调整参数以满足他们所需的应用，降低能源成本，同时提高生产率。