二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9153474 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是CVD（化学气相沉积）和PECVD（等离子体增强化学气相沉积）的最先进的工具，能够进行精确可靠的基板表面改性。该设备可实现准确的过程控制和可重复性,从而产生高质量的薄膜和图样。AMAT ENDURA反应堆是工业应用的最佳选择，提供经济高效的加工、可靠性和精确的控制。APPLICED MATERIALS ENDURA Reactor是一种结合了蚀刻室和沉积室的多室装置，能够快速准确的处理。CVD/PECVD蚀刻室用于以统一的方式和精确的控制来蚀刻基板表面,从而创建理想的结构拓扑。第二个沉积室用于将保形膜沉积到蚀刻表面，提供经济高效的均匀性，这对于一系列应用至关重要。该系统还进行了优化，以提供非常精确的方面控制，使纳米结构的制造成为可能。ENDURA反应堆的配置选项为样品处理提供了灵活性。该装置还提供不同类型的流体输送歧管，其中可以将各种源气体引入腔室。该机器包含先进的晶圆控制硬件和自动关闭协议,以最大程度地减少对样品的潜在损坏。此外，该工具还提供基板温度监测和易于使用的模式识别软件。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种提供最佳工艺控制、可靠性和成本效益的综合资产。该模型在许多工业过程中得到应用，从制造用于微电子的薄氧化层到合成用于电信的纳米级光波导，再到制造用于传感器的小结构。AMAT ENDURA反应堆是满足您精密工程和工业加工需求的理想合作伙伴。