二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9155075 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是AMAT开发的先进蚀刻沉积反应器。该设备的设计使各种化学气相沉积和等离子体蚀刻工艺具有高精度、高均匀性和高通量，适用于半导体、光学和工业领域的一系列应用。该系统由几个组件组成，包括一个加工室、一个锁载室、一个源室、一个转移室和一个气体面板。该工艺室是该单元的主要部分，并容纳该工艺源，以提供形成所需工艺所需的原料和反应性气体。锁载室用于向加工室提供真空密封以进行阶梯加载。源室包含原子层沉积、分子束外延和溅射等应用的专用源。转移室用于运输和转移加工材料，以及作为主加工室和锁载室之间的缓冲。该腔室和气体面板用于监测和控制惰性载流子和化学前体气体进入工艺腔室的压力、温度和流量。AMAT ENDURA的设计目的是在单个大型反应室中提供精确稳定的工艺环境。这种机器的设计即使在多层工艺过程中或具有困难的沉积材料时也能提供优异的薄膜性能。APPLIED MATERIALS ENDURA具有优化的过程控制、高分辨率诊断和自动化过程控制,非常适合需要高性能和可重复性的各种沉积和蚀刻过程。在工艺温度方面，此工具的温度范围为10°C至400°C。压力范围也是可调的，为10-5 Torr至1.8 Torr。此外，该资产与多种前体气体兼容，并有一个可调的印版阳极，用于蚀刻过程。在安全性方面，该型号结合了多个安全传感器，以监测腔内的气压和温度水平。该设备还具有先进的原位清洗程序，以减少所需的腔室重调量并防止与除气有关的问题。综上所述，ENDURA是一种高度精确和先进的蚀刻沉积反应器，旨在以高精度和通量进行CVD和等离子体蚀刻过程。该系统具有可调电平阳极、安全传感器和自动化过程控制，非常适合各种沉积和蚀刻应用。