二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9161792 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高效、最先进的反应堆，专为高速、大批量生产而设计。它是一个用途特别广泛、可靠的平台，能够处理小至150毫米、大至300毫米的晶片。AMAT ENDURA采用先进的技术来确保最高质量的工艺,包括先进的晶圆映射、多轴晶圆对准、多区域温度控制和先进的功率控制。通过这些特性,应用材料ENDURA已成为高容量吞吐量和高精度过程控制的行业领导者。ENDURA由航天级铝和不锈钢部件制成，提供坚固坚固的结构。这与高度智能的晶片处理控制软件相结合，该软件能够在该过程中执行超过50个不同的过程，如晶片映射和对准、高清电视检查、氧化、沉积和蚀刻。利用AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA，可以高精度地实现高质量的硅化物和外延步骤。AMAT ENDURA最令人印象深刻的特点之一是它能够在所有基板上提供稳定、可重复的结果。这是通过基板映射和对齐的双面实现的，这保证了晶圆两侧的一致结果。此外，晶圆运动子系统的特点是高速直流电动机能够非常精确的步进和重复运动，使过程更加一致。先进的热验证系统有助于在整个工艺室内保持均匀的温度，并能够非常精确地控制不同基板之间的温度。这有助于消除处理步骤引起的任何热变化风险,从而产生更一致的结果。这种先进的控制系统还具有高精度的单区自适应晶圆温度传感器，可确保在加工过程中精确测量晶圆温度。最后,APPLIED MATERIALS ENDURA还提供了一个全面的数据记录包,用户可以有效地查看其处理日志。此数据记录包具有高质量的记录分辨率、实时显示日志内容和用户定义的日志参数。此软件包可帮助最终用户轻松准确地排除其流程中的任何问题。总而言之,ENDURA是一个高效可靠的处理平台,具有先进的过程控制技术,使用户能够获得可重复的高质量结果。是大批量生产需求的理想选择。