二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9165615 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种用于半导体器件制造工艺的高性能、全场批量反应器。设计用于各种蚀刻和沉积应用，这种反应器提供了极好的过程均匀性和可重复性。AMAT ENDURA反应堆有两个温区，两个气区，两个电源和两个等离子体源，可以结合使用，为各种半导体器件制造作业创造理想条件。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR通过使用其先进的控制系统（包括触摸屏显示屏,可手动操作或使用脚踏板控制）提供卓越的过程控制和可重复性。这允许操作员调整基板温度、射频功率、等离子体参数和气流等参数，以获得最佳工艺性能。这个设计精良的反应堆室具有多室架构，可以一次处理多个过程挑战。其气密结构保证了多种反应性气体的稳定、持久运行。在腔壁周围使用坚固的机械密封件，确保在操作过程中保持真空完整性。反应堆可配备广泛的气体，如氧气、氯气、氟气、氙气和氮气，可用于沉积、蚀刻和清洁作业。其先进的气体输送系统确保这些反应物气体的精确、可重复输送。ENDURA反应堆还可以安装广泛的专业，如自动腔室清洗、温度控制和腔室温度滥用系统。这使得反应堆能够在很宽的温度范围内运行，而不会影响工艺性能。反应堆设计为高度模块化和可定制，允许用户添加额外的电源和等离子体源等组件。这使得它能够用于各种各样的应用，包括沉积、蚀刻、离子植入和清洁。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是各种半导体应用的理想选择。它提供了出色的过程一致性和可重复性,以及灵活、可定制的操作。它也是高度可靠的，提供了一个漫长的、免维护的运营寿命。