二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9166439 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 PECVD Reactor是半导体行业工作的科学家、工程师和技术人员的强大工具。AMAT ENDURA 5500反应堆为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）提供了最高的效率和吞吐量。应用材料ENDURA 5500有两个平行的反应物气体喷射系统放置在反应堆的两侧。反应物气体喷射器旨在优化气体溷合，同时提供必要的反应物气体流动。最大工作压力为6巴，可实现广泛的沉积过程。此外，ENDURA 5500反应堆在1至6巴的压力范围内运行，并且在不同的晶圆尺寸（50至300毫米）上运行。通过使用AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500，科学家和工程人员可以定制其沉积过程的操作参数。AMAT ENDURA 5500反应堆提供了出色的工艺控制，使研究人员能够精确地确定其实验所需的条件。温度和压力的监测精度分别为0.1 °K和0.1 mbar。反应堆具有细粒温度控制，允许紧密控制底物温度和均匀性。此外,APPLICED MATERIALS ENDURA 5500还提供了沉积过程的精湛均匀性和可重复性.这是通过使用高性能通量发生器实现的，该发生器有助于保持晶圆上的均匀通量分布，消除晶圆和工艺运行之间的差异。通过提供均匀的薄膜厚度和均匀的蚀刻轮廓，ENDURA 5500有助于提高产量和吞吐量，有效缩短加工时间。Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500还具有强大的设计和处理能力,可确保对高精度基板和设备进行可靠和可重复的处理。该反应器具有低振动室，可确保操作准确，减少对工艺环境的污染。反应堆还内置了自动清洗系统，进一步减少了停机时间和污染风险。总体而言，AMAT ENDURA 5500是一种功能强大、用途广泛的反应堆，为半导体沉积过程提供了卓越的工艺控制和均匀性。