二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是半导体工业中用于物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）应用的工具。它提供生产级吞吐量，具有多种腔室配置和执行各种沉积的能力。AMAT ENDURA是一个独立的、易于使用的工具,它可以简化操作、改进流程结果并减少停机时间,同时缩短上市时间。它采用了创新的负载锁定设计，最大限度地提高了效率，允许用户在各个加工区域之间转移基板。APPLICED MATERIALS ENDURA的主要优点是其高性能的工艺头，专为下一代设备复杂的金属化和先进的介电应用而设计。这个过程头能够在一个腔室中处理多达五个过程步骤，使得在大大减少的循环时间内完成多次沉积成为可能。此外，ENDURA还具有高效的气源入口，提高了工艺室内的温度稳定性。这样可以提高晶圆的均匀性和工艺的可重复性,从而使产品更加一致。利用AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA，也有可能在同一工艺室内达到低缺陷水平。这要归功于它的低颗粒污染，这是通过一个获得专利的模块化送闸系统实现的，该系统只能确保受污染的颗粒逸出。AMAT ENDURA还具有多室平台，允许用户为自己的特定应用选择合适的配置。在提供多种配置的情况下,用户可以轻松自定义其设置并一次执行多种类型的沉积,从而最大程度地提高其过程灵活性,并使他们能够快速实现所需的结果。最后,APPLIED MATERIALS ENDURA是一种易于操作的工具.它包括一个直观的触摸屏用户界面,它简化了创建配方和优化流程的过程,帮助用户快速、准确地实现所需的产品结果。综上所述，ENDURA反应堆提供各种腔室配置的生产级吞吐量，使多个工艺步骤和沉积在减少的循环时间。它是一种高性能、易于使用的工具,可简化操作并缩短流程时间,同时实现低缺陷级别的可重复结果。