二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167548 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是在研究和生产环境中加工基材的工具。该工具专为半导体、先进包装、光伏/太阳能生产中的单晶片和批处理应用而设计。该反应堆采用独特的连续晶圆传输工艺，提供增强的晶圆吞吐量和提高的屈服性能。AMAT ENDURA是工艺的理想选择.它在同一反应堆中提供全晶片处理，吞吐量高达每小时100晶片。该工具为各种模块处理提供了多种选择，包括退火、氧化、蚀刻、金刚石沉积、离子注入等。该系统还提供了一个自动加载和卸载模块,模块之间的传输时间为0.5秒。APPLICED MATERIALS ENDURA由反应堆室、基板处理程序和多个处理模块组成。反应堆腔室呈圆柱形，面积体积比大，允许低压运行，等离子体污染最小。这使得该系统适用于单晶片和批处理应用的处理。基板处理程序设计用于在加载的盒式磁带和处理模块之间快速、准确地传输基板。ENDURA提供卓越的流程灵活性、可重复性和可靠性。这使得它非常适合高级研发任务和批量生产。它配备了精确的控制系统和精确的加热系统，这意味着该工具可以精确控制过程气体和过程温度。这导致沉积速率比其他沉积系统所能达到的低。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的设计目的是提供可靠的工艺,因为它具有用于温度、压力和流量测量的各种冗余工艺参数。它还设计了一系列安全功能。这包括一个表面温度监视器和位于处理室内的过温传感器。在业绩方面，AMAT ENDURA是无与伦比的。此工具提供了快速的周期时间、卓越的流程可重复性和高流程产量。它还提供了最新的过程自动化,允许单处理和批处理应用程序。它的设计和可靠性使其成为任何基材加工应用的理想选择。