二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170089 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
已售出
ID: 9170089
晶圆大小: 8"
Chambers, 8" Heater/Pedestal Option: A101.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是AMAT为在一系列基板上生产较小集成电路而创建的反应堆。该反应堆设计为在集成电路的生产过程中执行三个关键步骤。第一步是物理气相沉积(PVD),即将材料薄膜沉积到基板上的过程。这样做是为了改善基板的电气和结构特性。第二步是低压化学气相沉积(LPCVD),用于沉积第二层材料。第二层可用作绝缘层或触点层。最后,最后一步是蚀刻,用于去除不需要的材料,在基板上创建精确的图桉。该反应堆能够处理多种材料,包括多晶硅、硅化物、钴、移植物、铜、钨、喹、硼、磷和硅。它的设计具有高度的灵活性,使其能够处理各种底物和工艺,包括:溅射、沉积复合层和蚀刻。AMAT ENDURA反应堆配备了先进的技术特点。它拥有一个Robistar™线性驱动系统,一个直流电弧和磁控管溅射系统,一个RGA质谱仪,和多头喷砂和激光修剪。反应堆还利用数据采集系统(DAQ)处理和控制反应性气体环境的底物。APPLICED MATERIALS ENDURA效率高,在集成电路的制造过程中提供了精确的结果.它还具有低温操作范围,提供高生产率和优异的产量。反应堆配有四个头,最多可同时加工四个底物,是大批量生产的经济高效选择。此外,由于设计是模块化的,用户可以在不同的基板之间切换,并根据自己的需要量身定制生产过程。在安全性方面,ENDURA反应堆经过认证,符合CE标志的标准。它带有多个安全传感器来检测气体泄漏、温度和压力。反应堆还采用紧急关闭系统和紧急通风系统,以增加一层保护。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种高效、精确的集成电路生产工具。它的特点使得它成为大批量生产和一系列基材的理想选择。它的模块化和灵活性使其成为各种设施的理想选择。此外,安全特性还保证了以最低风险获得可靠和高质量的结果。
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