二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170733 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA反应器是一种先进、通用、高效的工艺室，用于各种半导体加工应用。AMAT ENDURA反应堆具有广泛的能力，包括蚀刻、沉积、氧化和其他加工。APPLIED MATERIALS ENDURA的主要优点是提高了工艺的吞吐量和均匀性。ENDURA室由一个大的圆柱形不锈钢容器和一个扁平、均匀的底板组成。容器的壁衬有石英或陶瓷绝缘体。在腔室内部，多挡板系统使整个过程的压力、温度和过程气体均匀。TheEndura的各种部件，包括电源、真空泵、冷却系统和气体输送系统，都安装在作为端盖一部分的平台上。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的冷却系统使用液体冷却，即水或乙二醇的专有溷合物，在整个腔壁和零件中循环。此冷却系统可维持腔室的温度,并保护其免受处理过程中产生的高热载荷的影响。此外，冷却有助于保持更均匀的热分布，以促进高工艺均匀性。AMAT ENDURA反应堆中可使用多种气体，包括非反应性过程气体以及四氯化硅、三氟化氮、二氧化氮、臭氧等生物成分。根据正在执行的工艺类型，可以在不同浓度和压力下同时使用多种气体。该腔室设计有各种端口，可以引入和疏散气体。APPLIED MATERIALS ENDURA的电源和其他组件旨在最大限度地减少功耗并最大程度地减少热应力。其电容耦合，射频发电机设计为蚀刻沉积提供高频功率传递。发电机刚性安装在腔室，射频发电机控制从电子控制面板进入，允许精确调节。ENDURA是各种半导体处理应用的有效且通用的工具，提供了提高的吞吐量、统一性和改进的热管理能力。它还易于操作和维护，使其成为用于半导体等先进领域的理想选择。