二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9175665 待售

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ID: 9175665
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
EXTENSA TTN Chamber, 12" Process: Thinfilm Currently warehoused 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Equipment是一种用于半导体生产和先进材料研究中薄膜沉积的最先进的沉积系统。该设备经过精心设计,可提供卓越的性能和正常运行时间,提供灵活性和经济性。机器描述如下:AMAT ENDURA刀具利用高性能沉积刀具在各种基板上实现精确的薄膜沉积。利用可变压力环境,该腔室可在多种温度范围内提供精确的薄膜沉积控制,使其成为各种工艺应用的理想选择。该模型配备了高效的负载锁、包含多个先进沉积源的腔室、退火前和退火后系统、气箱以及其他先进的子系统。根据应用,源可能包括电子束源、热丝源或直流电等离子体源以及闪光灯等其他特殊源。此外,该设备还拥有一整套先进的监测和控制系统。APPLICED MATERIALS ENDURA系统可用于各种制造过程,从先进的半导体生产到新型创新材料的推进。对于半导体生产,薄膜沉积可用于处理薄膜晶体管、自旋电子学和纳米电子学,而在先进的材料研究中,沉积可用于制造复杂的量子器件和材料,如石墨烯、碳纳米管、范德华尔组件。在这些过程中使用的材料和基材从硅基基基基材到低k和高k介电薄膜。该装置能够进行精确的储存、加热、冷却和浓度控制,非常适合先进的工艺。此外,该机器还配备了一系列安全系统,有助于确保可靠和安全的运行。ENDURA Tool结合了卓越的性能、精确的薄膜沉积和前所未有的灵活性,使其成为半导体和先进材料研究的理想沉积平台。资产由全球网络支持,提供支持和资源以帮助确保持续正常运行和持续优化。
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