二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9176602 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种反应堆，旨在为各种温度下的先进材料研究提供应用。设备配备了均匀温度室和等离子体处理、两个炉子等多种特点，以及提供平板基板在任何温度下均匀性好的加热区。因此,它是快速热处理（RTP）和快速热退火（RTA）过程的理想选择。AMAT ENDURA的加热区能够输送80°C至1050°C的温度。热源的均匀性提供了热加工的均匀性，对先进的材料研究至关重要。该系统还包含等离子体源，从而为材料处理和沉积提供低温等离子体。APPLICED MATERIALS ENDURA被设计成可以使用高灵敏度的材料，如氧化氘锡（ITO）和电介质，以及光学活性材料如陶瓷和金刚石。ENDURA单元包括两个熔炉模块，一个带有石墨加热元件，一个带有碳化硅（SiC）加热元件。加热元件的额定温度均高达1000 °C,并安装在真空室中,以提供出色的整个基板加热均匀性。熔炉模块在较高的温度下具有极好的均匀性，这对于先进的材料研究至关重要。该机器装有两个等离子体源，一个用于反应性离子蚀刻（RIE）工艺，一个用于化学气相沉积（CVD）工艺。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA还配备了一个集成参数化测量工具（PMS），使实验室人员能够监控实验进度。PMS提供电流、温度和电阻读数，使研究人员能够实时准确测量实验参数。PMS还促进了资产能力的扩展,允许集成最新的材料开发技术,例如3D制造或纳米管应用。总体而言，AMAT ENDURA是用于先进材料研发的可靠、强大的反应堆和实验室解决方桉。其温度均匀的腔室和广泛的特点，包括两个炉和加热区、等离子源和参数测量模型，使其成为进行困难材料加工作业的理想选择。该设备用途广泛且可靠,能够在加速的时间范围内提供优异的效果。