二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182273 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是一种多室设备，可用于半导体和其他工艺行业的多种应用。该反应堆支持具有各种特点的高质量制造工艺，如高温/压力/真空兼容操作以及基于等离子体的沉积解决方桉。该系统在选择和组合制造材料方面具有很高的灵活性。AMAT ENDURA反应堆的腔室是专门为先进金属和材料的沉积而设计的。它配备了先进的过程控制技术，能够准确控制过程变量。反应堆在腔室的顶部、底部和侧面都装有大窗户，便于不间断地观察过程。单元中的电容器有助于消除粒子，以及向电极提供电流。室内温度由人工和自动控制的陶瓷分体式加热器控制。APPLICED MATERIALS ENDURA REACTOR提供了一个电子回旋共振源，与感应耦合等离子体源结合工作，创造了一个非常高效的等离子体环境。高效的等离子体环境使各种宏观等离子体材料得以沉积。反应堆室还设有气体分配机，将过程气体精确地分布在基材表面。该工具还可以方便地进行气体预过滤和监测。ENDURA反应堆的设计非常方便用户和安全。它带有嵌入式软件,使用户可以轻松地对硬件和流程参数进行编程、监控和控制。该资产还具有集成警报系统、数据记录/历史记录支持以及高级材料/电极监控功能等多种功能。此外还有温度过高保护器和电流过高保护器等安全特性。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是广泛制造和工艺应用的理想选择。其多才多艺的设计、人性化的界面、高品质的建筑，使其成为现代制造业的完美选择。
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