二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种基于CVD（化学气相沉积）的薄膜沉积设备,旨在提供精确、厚度和均匀性的薄膜沉积。AMAT ENDURA系统是一种先进、高速率、高通量的解决方桉，能够产生一致、可靠的薄膜层，具有优异的均匀性和一致性。该单元的主要应用包括介电膜沉积、屏障层、钝化层、蚀刻止动层。应用材料ENDURA由三个主要部件组成，以提供所需的薄膜：装载板、反应容器和控制机。装载板由一系列夹具组成，夹具固定底物并将其运送到反应容器。反应容器是工具的最大部件，通常由一个大的圆柱形不锈钢室组成，该室包含两个或三个水冷电极，室内有数百个金刚石尖端电极，以产生均匀的负静电场。ENDURA资产的控制模式允许对整个沉积过程进行精确控制。这包括设置压力、温度和气体流向反应容器的速率等参数，以及对电极的功率补偿。另外，反应容器的温度、电极数量和电极间距以及底物传输速率可以根据需要进行调整。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA设计用于在包括有机和无机材料在内的多种基材上快速沉积具有均匀性和保形性的薄膜。该设备还可以实现比其他类似系统更高的沉积速率，沉积速率高达每小时10微米（µm）。该系统提供了实现非常可重复和可重现的工艺结果的能力，确保了薄膜沉积工艺的准确性和精确度。为了实现均匀性和流程可重复性,AMAT ENDURA还具有多种内置故障安全功能,例如超温保护单元和一组传感器来监控流程。APPLICED MATERIALS ENDURA是一种多功能、动态的机器，非常适合需要高质量薄膜沉积的行业。ENDURA工具提供了卓越的工艺效果、优异的一致性和一致性、卓越的沉积速率以及多种自动化故障安全功能。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA资产是高品质薄膜产品开发制造的理想解决方桉。