二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198481 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种先进的蚀刻反应器，能够对蚀刻过程提供高精度的控制。AMAT ENDURA采用模块化体系结构设计,可提供灵活性和可扩展性,使其成为研究和行业的绝佳选择。它具有可定制的工作流蚀刻室,可用于高端晶圆处理。APPLIED MATERIALS ENDURA的腔室由多个组件组成，包括优化的气体注入环、等离子体源和安装座。它通过能够并行运行多个蚀刻配方的集成过程控制器来控制蚀刻过程。该工艺控制器支持手动和自动控制,并且能够在蚀刻室、工艺控制器和外部源之间共享数据。ENDURA是为清洁、卫生和工艺维护而设计的，通过对蚀刻工艺提供卓越的控制。它能够支撑广泛的基材材料，包括硅、III-V化合物、玻璃、高k电介质和低k电介质。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA的独特之处在于它产生高纵横比蚀刻窗，导致光滑且高度均匀的蚀刻。它还具有原位静电清洗系统，有助于保持室内清洁和无污染。AMAT ENDURA先进的等离子体源提供了一种高密度的等离子体，促进了有效的蚀刻和对基材的最小损害。这些源针对电感和电容耦合系统进行了优化,从而实现了灵活性和可扩展性。APPLICED MATERIALS ENDURA的广泛特性使得它非常适合半导体行业的蚀刻和清洁。ENDURA易于操作和设置,几乎不需要停机。它有许多选项可供选择,包括手动、半自动和自动配置。此外,它的设计符合最新的行业标准,并且与现有的系统和流程兼容。凭借其先进的功能和灵活性,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA是研究、工业和生产环境的绝佳选择。它的模块化设计和可扩展性确保该过程保持高效和高成本效益。它是高精度蚀刻和晶圆加工的绝佳选择。