二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198483 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是由先进技术平台全球领先者AMAT设计制造的高性能反应堆。这种尖端反应器旨在方便薄膜层和其他材料在半导体基板上的沉积。AMAT ENDURA能够以高达200 nm/min的沉积速率沉积氧化物、多晶硅、氮化物和金属基材料。APPLIED MATERIALS ENDURA的多用途工艺室可以配备多种来源配置,从单一来源到最多四种前体不等。此外,反应堆还可以适应三个等离子体源和一个物理气相沉积源。ENDURA反应堆具有多个温度控制区,允许精确的温度控制和基板均匀性。该工艺控制器提供多达九个温度区,以便于将各种材料沉积到基板上。该工艺控制器还支持多达32个额外步骤的配方,以进一步完善基板沉积工艺。为了提高反应堆的性能,AMAT/应用材料ENDURA采用AMAT ENDURA EQ软件。这个高级软件监视每个工艺参数,并提供反应堆运行的实时反馈。APPLIED MATERIALS ENDURA还拥有一系列先进的安全功能。反应堆的设计符合半导体工业制定的严格安全规定。例如,反应堆的外部被1000级洁净室包围。此外,ENDURA反应堆的泄漏速率为1.3 Pa cc/sec。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA还设有一个紧急关闭开关和一个在反应堆达到不安全温度水平时发出的警报。AMAT ENDURA反应器是各种半导体应用的理想选择,用于生产DRAM、SRAM、NOR、NAND和RFIC。这种多功能反应堆可用于制造各种芯片设计和尺寸。APPLIED MATERIALS ENDURA还支持广泛的工艺技术,包括元件、3D结构和封装。总体而言,ENDURA反应堆提供卓越的性能、多功能性和安全性,使其成为各种半导体应用的理想选择。它是可靠的、最先进的设计和高级软件,可确保在达到最高行业标准的同时最大限度地提高生产率。
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