二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198484 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor是业界领先的单晶圆反应堆,旨在支持制造用于微电子器件的先进半导体。它为高温和化学应用提供了高性能和可靠的操作。AMAT ENDURA反应堆具有单晶片真空工艺室、高效泵送系统和精密的控制系统。这样就可以严格控制过程并提高产量。APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor配备了Advanced Materials的专利MultiCryo™技术,该技术采用绝缘材料和低温冷却相结合的方式,以确保高温过程的均匀性和可重复性。该反应堆还采用AMAT专利谐波调谐烘烤技术,降低功耗,提高温度均匀性,提高工艺重复性。此外,集成的动态控制Flow™系统还以卓越的速度和准确性为目标,以提高生产效率和吞吐量。ENDURA Reactor的建造具有业界领先的安全特性,如先进的真空互锁和工艺室清洗,以保护人员和设备。真空压力控制还确保系统保持安全状态。板载汽缸压力传感器和干氮净化装置为工艺优化提供了额外的安全选择。AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor包括一个集成的图形用户界面(GUI),使用户能够从世界任何地方监控和控制过程。系统的Smart Diagnostics Suite检测流程异常,并向用户提供可行的反馈。此外,反应堆的设计是可扩展的,并且易于与其他设备集成,以实现更复杂的过程。AMAT ENDURA Reactor是希望提高产量、降低成本、提高生产线吞吐量的制造商的理想工具。它结合了先进的特点和坚固的安全系统,使其成为半导体制造的一个有吸引力的选择。
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