二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198485 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA是一种高性能的高级反应器,设计用于薄膜沉积过程。它旨在提供更高水平的薄膜生长均匀性、过程控制和可预测的薄膜效果。AMAT ENDURA反应器允许沉积具有先进化学成分的高质量薄膜。该系统利用先进的内室工艺来驱动薄膜的非视线沉积。应用材料ENDURA非常适合薄膜光伏、光电、平板显示器、GaN晶体管和MEM等应用。它利用化学反应和离子辅助过程来沉积各种薄膜,同时保持薄膜的化学成分一致。其专有的热通量控制系统也允许精确的温度控制。ENDURA先进的射频能力还提供过程控制和提高沉积均匀性。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS ENDURA采用了一种环保设计,采用室内臭氧生成系统,以减少对CVD和PVD工艺中使用的臭氧生成组件的需求。这减少了由于臭氧积聚而需要频繁维护的情况。高级数据采集功能还提供了对室内流程信息的最大可见性,以确保进一步的流程控制。与其他薄膜沉积系统相比,AMAT ENDURA以其能力和可靠性而脱颖而出。其特点包括精确的过程控制、先进的统一性、增加的吞吐量、减少的维护以及改进的过程可重复性。使用APPLIED MATERIALS ENDURA,用户可以在环保、节能的设计中获得卓越的薄膜质量。其先进的性能使其适合任何类型的薄膜沉积工艺,并使其成为许多行业所必需的。
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